真空閥是一種專門設(shè)計(jì)用于在真空系統(tǒng)中控制氣體流動的閥門。真空系統(tǒng)通常指的是壓力低于大氣壓的環(huán)境，這些系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、光學(xué)薄膜沉積、真空冶金、科學(xué)研究以及其他需要高度清潔和控制的工業(yè)領(lǐng)域。

 

真空閥的主要特點(diǎn)要求如下：

 

低泄漏率：真空閥須具有極低的氣體泄漏率，以保持真空系統(tǒng)的壓力穩(wěn)定。這意味著閥門的密封性能要非常高，通常使用金屬密封或特殊橡膠密封。

 

清潔度：真空閥的材料和表面處理須非常干凈，以防止釋放出顆粒物或化學(xué)污染物，這些污染物可能會影響真空室內(nèi)的精密工藝。

 

耐腐蝕性：由于真空環(huán)境中可能存在各種腐蝕性氣體，真空閥的材料需要具有良好的耐腐蝕性。

 

低放氣率：真空閥在制造過程中需要特別注意，以減少材料表面的放氣，即材料在真空中釋放吸附氣體的能力。

 

機(jī)械強(qiáng)度：真空閥需要能夠承受真空環(huán)境下的機(jī)械應(yīng)力和熱應(yīng)力，特別是在高溫或低溫條件下。

 

驅(qū)動方式：真空閥可以采用手動操作，也可以配備電動、氣動或電磁驅(qū)動裝置，以實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程控制或自動化操作。

 

尺寸和接口：真空閥的尺寸和接口需要根據(jù)真空系統(tǒng)的具體要求來設(shè)計(jì)，包括法蘭連接、螺紋連接或卡箍連接等。

真空閥關(guān)閉件是用橡膠密封圈或金屬密封圈來密封的。波紋管截止閥的波紋管是用不銹鋼、高鋅黃銅JI80、塑料和其他材料制成。